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產(chǎn)品與服務(wù)
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高效清洗 節(jié)能環(huán)保
用于硅片線切割后的脫膠工藝，通過高溫軟化膠水實(shí)現(xiàn)硅片與基板分離。
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產(chǎn)品特點(diǎn)
自動(dòng)化流程
采用單臂機(jī)械手輸送，支持自動(dòng)配酸液、加熱及二次脫膠工藝，降低人工干預(yù)。
高效清洗
配置多槽噴淋和超聲清洗單元，結(jié)合在線加熱，提升脫膠效率。
節(jié)能環(huán)保
臟水回收過濾重復(fù)利用，減少耗水量；排酸氣抽風(fēng)裝置降低環(huán)境污染，設(shè)備具備乳酸單獨(dú)回收功能。
配置豐富
自動(dòng)去邊皮、邊皮自動(dòng)稱重、晶托自動(dòng)碼垛、晶托自動(dòng)出料等。
技術(shù)參數(shù)
| 主要功能 | 對(duì)切片后的硅片進(jìn)行脫膠 |
| 過程控制 | 品牌PLC自動(dòng)控制，設(shè)備自動(dòng)處理 |
| UPTIME | 98%(24h/天，年工作日在353天以上) |
| 生產(chǎn)時(shí)間 | 三班制(注：一天工作24h/天，330天/年) |
| 產(chǎn)能 | ≧180板/天 |
| 節(jié)拍 | ≦7.5分/板(用戶自定，可調(diào)) |
| 適應(yīng)晶棒 | 兼容4~8寸的各種晶托 |
| 適應(yīng)尺寸 | 各槽體尺寸：滿足1000mm晶棒(含鐵板、鋁尾座)放入槽體運(yùn)行 |
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