寬度可調(diào) 布局通透

去除擴(kuò)散后硅片背面及邊緣的PSG，防止PN結(jié)短路。背面拋光處理，提升鈍化效果。

產(chǎn)品特點

寬度可調(diào)

料臺歸正寬度可調(diào)，兼容更多規(guī)格的硅片，為后續(xù)硅片更大產(chǎn)能改造提供了預(yù)留窗口。

布局通透

設(shè)備布局前后通透，給設(shè)備使用者提供了最大的便捷性。

精準(zhǔn)補(bǔ)液

補(bǔ)液系統(tǒng)采用PFA材質(zhì)高精度計量。

穩(wěn)定傳動

傳動系統(tǒng)高穩(wěn)定性，有效降低了設(shè)備后續(xù)維護(hù)保養(yǎng)難度。

強(qiáng)力風(fēng)機(jī)

搭配高功率高壓鼓風(fēng)機(jī)，動力強(qiáng)勁。

高效過濾

風(fēng)機(jī)前后中配置高效空氣過濾，潔凈度有保證。

便捷保養(yǎng)

過濾器采用快拆結(jié)構(gòu)，后期保養(yǎng)簡單、便捷。

功能	去除背面PSG和拋光處理
產(chǎn)能	去PSG 12道產(chǎn)能≥14500PCS/H(182) 去PSG 12道產(chǎn)能≥12500PCS/H(210) 槽式拋光≥14500PCS/h(6籃182);≥11500PCS/h(4籃182) 槽式拋光≥12000PCS/h(6籃210);≥9600PCS/h(4籃210) 碎片率≤0.01%, Uptime≥98% 速度：1-4.5m/min可調(diào)
優(yōu)勢	1.閉環(huán)運動控制系統(tǒng)，保證輸送機(jī)構(gòu)運動平穩(wěn)性 2.拋光槽：上表面采用水膜保護(hù)及滾輪帶液方式，完整的保護(hù)正面的同時，對背面作拋光處理 3.烘干槽：采用高壓風(fēng)機(jī)+高效過濾器的方式，鏈?zhǔn)饺SG+槽式堿拋設(shè)備，設(shè)備產(chǎn)能大，穩(wěn)定性好 4.進(jìn)口PLC控制，穩(wěn)步提升設(shè)備的產(chǎn)能 5.慢提拉采用機(jī)械臂慢提方式，設(shè)備滿足干濕分離，匹配高效電池發(fā)展趨勢 6.可配套無金屬化制程設(shè)備，提高設(shè)備潔凈度 7.工藝槽采用經(jīng)典的內(nèi)外槽循環(huán)模式，能快速有效的將新添加藥水以及添加劑充分?jǐn)嚢杈鶆?，槽內(nèi)控溫精度誤差<±1℃