進(jìn)口PLC控制精準(zhǔn)控溫

針對(duì)N型硅片雙面制絨，形成超細(xì)絨面，適配隧穿氧化層沉積。集成臭氧氧化工藝，降低有機(jī)物殘留。

產(chǎn)品特點(diǎn)

進(jìn)口PLC控制

進(jìn)口PLC控制，穩(wěn)步提升設(shè)備的產(chǎn)能。

機(jī)械臂慢提

慢提拉采用機(jī)械臂慢提方式，設(shè)備滿足干濕分離，匹配高效光伏電池發(fā)展趨勢(shì)。

無(wú)金屬制程

可配套無(wú)金屬化制程設(shè)備，提高設(shè)備潔凈度。

精準(zhǔn)控溫

工藝槽采用經(jīng)典的內(nèi)外槽的循環(huán)模式，能快速有效的將新添加藥水以及添加劑充分?jǐn)嚢杈鶆颍蹆?nèi)控溫精度誤差＜±1℃。

功能	1. 使用強(qiáng)堿腐蝕在硅片背面拋光形成近似鏡面的絨面結(jié)構(gòu) 2. 增加背鈍化膜的厚度均勻性 3. 降低了背面的表面積，提升了少子壽命，降低背面復(fù)合速率
產(chǎn)能	≥16000PCS/h(6籃182);≥12000PCS/h(4籃182) ≥13500PCS/h(6籃210);≥10000PCS/h(4籃210) 碎片率≤0.01% Uptime≥98%
優(yōu)勢(shì)	1.進(jìn)口PLC控制，穩(wěn)步提升設(shè)備的產(chǎn)能 2.慢提拉采用機(jī)械臂慢提方式，設(shè)備滿足干濕分離，匹配高效電池發(fā)展趨勢(shì) 3.可配套無(wú)金屬化制程設(shè)備，提高設(shè)備潔凈度 4.工藝槽采用經(jīng)典的內(nèi)外槽循環(huán)模式，能快速有效的將新添加藥水以及添加劑充分?jǐn)嚢杈鶆?，槽內(nèi)控溫精度誤差<±1℃