加工規格多
可滿足6~8"/12"硅棒加工 加工長度:600/450mm。
設備功能全
硅棒晶向檢測,滾圓,OF面,V-NOTCH槽可實現全自動磨削。
自動化程度高
單機可實現全自動化加工,可以實現自動上下料,自動對中自動檢測,自動加工等功能。
配置高
控制系統為歐姆龍系統,整機配置自動潤滑系統。
穩定性高
在光伏行業成熟的磨床結構基礎上優化設計,專門用于半導體行業硅棒磨削。
機械結構設計合理
整體式一體焊接底座,夾具及輸送機構位于設備上方,有利于設備防護及后期維護保養
| 加工棒料直徑 | 6-8英寸/12英寸 |
| 加工棒料長度 | 600mm/450mm |
| 橢圓度 | ≤0.06mm |
| 圓錐度 | ≤0.06mm |
| 直徑精度 | ±0.06mm |
| 表面粗糙度 | Ra≤1μm |
| OF寬度 | ±0.1mm |
| V-NOTCH深度 | 1.0~1.5mm |
| V-NOTCH角度 | 89°~93°(可定制) |
| 頂端R角形狀 | R0.9~0.94mm(可定制) |
| 設備尺寸 | 4900x2810x2350mm |
| 設備總功率 | 30kW |
| 設備自重 | 10.5t |
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