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鍺單晶爐
前門易換
前開法蘭門,可以安全、方便地更換籽晶及取晶體。
雙冷保障
水冷卻雙回路設計(主回路+應急回路),確保不間斷冷卻。
均溫精準
熱區均勻性:在直徑600mm區域內,溫度偏差≤±5°C。
靈活取渣
可配置取渣裝置。
智能控質
先進的控制算法確保晶體品質。
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大尺寸硅部件單晶爐
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