加工規格多
用于碳化硅晶體加工滾磨環節
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產品特點
加工規格多
可滿足4-8吋晶體加工 加工長度：0-400mm。
設備功能全
外圓滾磨、測晶向角度、磨OF面、刻V-Notch槽。
配置高
控制系統為歐姆龍系統，整機配置自動潤滑系統。
加工精度高
光潔度Ra0.8-1.0、橢圓度0.02/400mm、圓錐度±0.05/400mm、徑向精度±15'。
技術參數
| 加工晶棒直徑 | 4~8英寸 |
| 加工晶棒長度 | ≤400mm |
| 橢圓度 | ≤0.05mm |
| 圓錐度 | ≤±0.05mm |
| 光潔度 | Ra0.8-1.0（根據砂輪目數） |
| OF寬度頭尾偏差 | ±0.1mm |
| 晶向精度 | ±15' |
| V-NOTCH深度 | 1.00~1.25mm |
| V-NOTCH角度 | 89°~93° |
| 工作臺最小進給量 | 0.005mm |
| 磨架最小進給量 | 0.005mm |
| 主軸轉速 | 0-200r/min連續可調 |
| 工作臺往復速度 | 4-800mm/min連續可調 |
| 設備外形尺寸 | 4-800mm/min連續可調 |
| 設備總功率 | 20kW |
| 設備自重 | 4.5t |
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